第19章 用光刻还是冰刻(第1/2 页)
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好嘛,这倒是大意了。
一时间,会议室内的众人有点尴尬。不过不会可以学嘛,而且你既然作为曾经的二把手,以后要学的东西会越来越多。
最后苏云欣顺利拿到了所有资料,当晚就开始着手研究。
苏云欣喝了一口红糖水,托着小脑袋,考虑着到底是要光刻还是冰刻。
光刻机实际上并不是用激光来雕刻芯片,名字里有个“刻”字,但实际工作流程并不涉及“刻”的过程。
芯片生产用光刻机的工作更像是留影机,把掩膜板上的图案照射到涂在晶圆上的光刻胶上,让胶片曝光。
光刻机只是完成曝光,不进行光刻。
之后交接给蚀刻机,蚀刻机才是要完成刻的工作。使用极紫外光等方式雕刻电子线路。
而在其中光刻胶至关重要。
传统光刻机涂抹在晶圆上的这一过程中极易受到厚度、均匀程度等
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